Description du sujet de thèse
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Développement d'algorithmes et d'outils de modélisation pour des mesures de CD-SAXS à basse énergie
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Le CEA-LETI est un des acteurs Européen principaux de l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa plateforme de nano-caractérisation (PFNC) à Grenoble, il dispose d'un environnement de pointe avec un vaste éventail d'équipements à l'état de l'art. Nos équipes ont pour vocation d'accompagner le développement de nouveaux outils de caractérisation pour anticiper les besoins industriels (notamment autour des futurs nœuds technologiques). Ainsi, des travaux pionniers ont été réalisés autour du CD-SAXS sur la PFNC ces dernières années. Cette technique de diffusion/diffraction des rayons X permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique les dimensions des nano-structures gravées dans les salles blanches du LETI. Dans le cadre de ce projet, nous proposons d'étendre l'approche CD-SAXS en utilisant les récents développements autour des sources basse-énergie de laboratoire (A. Lhuillier et al. 1988, prix Nobel 2023) appelées High Harmonics Generation (HHG) sources. Votre rôle sera de mettre en place les outils d'analyse spécifiques au développement de l'approche CD-SAXS à basse énergie. La première preuve de concept a été réalisée en Novembre 2023.
Mission:
Afin de prendre en compte dans la réduction de données les spécificités de cette nouvelle approche (multi longueur d'onde, basse énergie...), votre mission se concentrera sur plusieurs tâches:
- Développer différents outils numériques pour le traitement de données :
oSimulations éléments finis avec solver Maxwell
oTransformée de Fourier analytique (similaire au CD-SAXS)vs théorie dynamique
oComparaison des différentes approches de simulations
- Construire et tester des modèles dédiés aux problématiques en lithographie(CD, overlay, rugosité)
- Définir les limitations de la technique par des simulations (notamment la résolution spatiale, les incertitudes de mesures);
Ce travail viendra compléter le développement expérimental de mesures de CD-SAXS avec une source de laboratoire HHG réalisée en parallèle par un postdoctorant.
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Master 2 en physique numérique / mathématique appliqué
Demandeur
Disponibilité du poste
01/09/2025
Personne à contacter par le candidat
FREYCHET Guillaume < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA, MINATEC Campus, 17 avenue des martyrs, F-38054 Grenoble Cedex
0438780456
Tuteur / Responsable de thèse
GERGAUD Patrice < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA-Leti, MINATEC Campus,
17 rue des Martyrs - 38054 GRENOBLE Cedex 9, France
04 38 78 31 43
En savoir plus
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Développement d'algorithmes et d'outils de modélisation pour des mesures de CD-SAXS à basse énergie
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Le CEA-LETI est un des acteurs Européen principaux de l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa plateforme de nano-caractérisation (PFNC) à Grenoble, il dispose d'un environnement de pointe avec un vaste éventail d'équipements à l'état de l'art. Nos équipes ont pour vocation d'accompagner le développement de nouveaux outils de caractérisation pour anticiper les besoins industriels (notamment autour des futurs nœuds technologiques). Ainsi, des travaux pionniers ont été réalisés autour du CD-SAXS sur la PFNC ces dernières années. Cette technique de diffusion/diffraction des rayons X permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique les dimensions des nano-structures gravées dans les salles blanches du LETI. Dans le cadre de ce projet, nous proposons d'étendre l'approche CD-SAXS en utilisant les récents développements autour des sources basse-énergie de laboratoire (A. Lhuillier et al. 1988, prix Nobel 2023) appelées High Harmonics Generation (HHG) sources. Votre rôle sera de mettre en place les outils d'analyse spécifiques au développement de l'approche CD-SAXS à basse énergie. La première preuve de concept a été réalisée en Novembre 2023.
Mission:
Afin de prendre en compte dans la réduction de données les spécificités de cette nouvelle approche (multi longueur d'onde, basse énergie...), votre mission se concentrera sur plusieurs tâches:
- Développer différents outils numériques pour le traitement de données :
oSimulations éléments finis avec solver Maxwell
oTransformée de Fourier analytique (similaire au CD-SAXS)vs théorie dynamique
oComparaison des différentes approches de simulations
- Construire et tester des modèles dédiés aux problématiques en lithographie(CD, overlay, rugosité)
- Définir les limitations de la technique par des simulations (notamment la résolution spatiale, les incertitudes de mesures);
Ce travail viendra compléter le développement expérimental de mesures de CD-SAXS avec une source de laboratoire HHG réalisée en parallèle par un postdoctorant.
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Master 2 en physique numérique / mathématique appliqué
Demandeur
Disponibilité du poste
01/09/2025
Personne à contacter par le candidat
FREYCHET Guillaume < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA, MINATEC Campus, 17 avenue des martyrs, F-38054 Grenoble Cedex
0438780456
Tuteur / Responsable de thèse
GERGAUD Patrice < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA-Leti, MINATEC Campus,
17 rue des Martyrs - 38054 GRENOBLE Cedex 9, France
04 38 78 31 43
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