Description du sujet de thèse
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Comment la nucléation des défauts impact la fracture dans le transfert de couches par SmartCut
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Le procédé SmartCutTM est largement utilisé dans la fabrication de substrats innovants pour la microélectronique, comme par exemple le SOI (Silicon-on-Insulator).
Les phénomènes physiques à la base de ce procédé, sont encore au cœur de nos recherches. L'optimisation de l'étape de fracture est un sujet majeur dans notre laboratoire et dans notre collaboration avec Soitec. Dans la thèse de G. Salomon (fin prévue en décembre 2026), le développement de protocoles d'analyses de la surface post fracture, ont mis en évidence le lien entre l'évolution de défauts lacunaires à l'origine de la fracture (platelets) et la rugosité post fracture. Nous avons ainsi pu caractériser les premiers stades de la croissance des platelets et ainsi déterminer leurs caractéristiques principales (taille et densité). Ce qui n'avait été réalisé jusque là qu'à travers des caractérisations complexes basées sur des observations TEM.
Maintenant que nous avons mis en évidence l'impact des platelets sur la rugosité post-fracture et que les moyens pour quantifier ces interactions ont été développés, l'étape suivante est d'étudier d'identifier des moyens de contrôler leur nucléation par des nouveaux procédés. Il s'agira aussi d'optimiser l'état post fracture des substrats SOI.
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Master 2 Sciences des matériaux, microélectronique
Demandeur
Disponibilité du poste
01/10/2026
Personne à contacter par le candidat
ACOSTA ALBA Pablo < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DTSI/SSURF
CEA Grenoble
DRT/LETI/DTSI/SSURF / LSJ
17 rue des Martyrs
38054 Grenoble CEDEX 09
04 38 78 26 78
Tuteur / Responsable de thèse
RIEUTORD François < email supprimé pour raison de sécurité >
SOITEC
Parc Technologique des Fontaines
Chemin des Franques
38190 Bernin (France)
04 76 92 75 00
En savoir plus
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Comment la nucléation des défauts impact la fracture dans le transfert de couches par SmartCut
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Le procédé SmartCutTM est largement utilisé dans la fabrication de substrats innovants pour la microélectronique, comme par exemple le SOI (Silicon-on-Insulator).
Les phénomènes physiques à la base de ce procédé, sont encore au cœur de nos recherches. L'optimisation de l'étape de fracture est un sujet majeur dans notre laboratoire et dans notre collaboration avec Soitec. Dans la thèse de G. Salomon (fin prévue en décembre 2026), le développement de protocoles d'analyses de la surface post fracture, ont mis en évidence le lien entre l'évolution de défauts lacunaires à l'origine de la fracture (platelets) et la rugosité post fracture. Nous avons ainsi pu caractériser les premiers stades de la croissance des platelets et ainsi déterminer leurs caractéristiques principales (taille et densité). Ce qui n'avait été réalisé jusque là qu'à travers des caractérisations complexes basées sur des observations TEM.
Maintenant que nous avons mis en évidence l'impact des platelets sur la rugosité post-fracture et que les moyens pour quantifier ces interactions ont été développés, l'étape suivante est d'étudier d'identifier des moyens de contrôler leur nucléation par des nouveaux procédés. Il s'agira aussi d'optimiser l'état post fracture des substrats SOI.
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Master 2 Sciences des matériaux, microélectronique
Demandeur
Disponibilité du poste
01/10/2026
Personne à contacter par le candidat
ACOSTA ALBA Pablo < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DTSI/SSURF
CEA Grenoble
DRT/LETI/DTSI/SSURF / LSJ
17 rue des Martyrs
38054 Grenoble CEDEX 09
04 38 78 26 78
Tuteur / Responsable de thèse
RIEUTORD François < email supprimé pour raison de sécurité >
SOITEC
Parc Technologique des Fontaines
Chemin des Franques
38190 Bernin (France)
04 76 92 75 00
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